In der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie können selbst die kleinsten Verunreinigungen im Prozesswasser – organischer oder anorganischer Art – die Qualität des Endprodukts ernsthaft gefährden. Da beide Branchen mit Produkten arbeiten, die elektrische Leitfähigkeit liefern, ist hochwertiges, ultra-reines Wasser erforderlich, um negative Auswirkungen auf die internen Komponenten zu vermeiden.
Die UV-Technologie ist hierfür eine bevorzugte Lösung, da sie keine Wasserparameter verändert und gleichzeitig bedrohliche Mikroorganismen eliminiert. ULTRAAQUA UV-Systeme sind äußerst vielseitig und bieten neben der Standarddesinfektion auch Lösungen zur Reduktion des gesamten organischen Kohlenstoffs (TOC), Advanced Oxidation Process (AOP), Dechlorierung und Ozonzerstörung.
Die Kombination aus speziell entwickelten Gasfüllungen, Amalgamtypen und extrem reinem Quarzmaterial sorgt für eine hochintensive UV-Strahlung, die sowohl direkte Photolyse als auch die Erzeugung freier Hydroxylradikale aus Molekülen mit Sauerstoffatomen ermöglicht. Die Effizienz dieser Lösungen hat sich als unübertroffen im Vergleich zu allen anderen Alternativen in der UV-Branche erwiesen.
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In der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie hat die Reinheit des Wassers oberste Priorität. Die UV-Desinfektion spielt eine entscheidende Rolle bei der Eliminierung von Mikroorganismen und organischen Verunreinigungen aus dem in Fertigungsprozessen verwendeten Wasser. Sie gewährleistet so den höchstmöglichen Reinheitsgrad und verhindert eine Kontamination der Produkte.
Die UV-Behandlung stellt sicher, dass das in verschiedenen Fertigungsstufen verwendete Wasser frei von Verunreinigungen ist, die empfindliche Halbleiterkomponenten beschädigen könnten. Dies führt zu weniger Defekten und einer insgesamt verbesserten Produktqualität.
Mit der richtigen Dimensionierung für die spezifischen Wasserbehandlungsbedingungen können UV-Systeme die definierten Anforderungen an ultrareines Wasser erfüllen. UV-Systeme können Mikroorganismen und organische Verbindungen effektiv auf die für diese sensiblen Fertigungsprozesse erforderlichen Werte reduzieren.
Die UV-Desinfektion ist eine kosteneffiziente Lösung, da sie ein hohes Maß an Wasserreinheit bei vergleichsweise geringen Betriebs- und Wartungskosten im Vergleich zu anderen Desinfektionsmethoden bietet.