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ÜBER DEN KUNDEN
HALBLEITERFABRIK IN ISRAEL
In Israel benötigte ein globaler Hersteller von Halbleiterkomponenten die Gewährleistung eines vollständig hygienischen Ultrapure-Wasser-Kreislaufs (UPW).
WAS DER KUNDE BENÖTIGTE
ULTRAREINES WASSER (UPW)
Da die Produktionsprozesse der Halbleiterindustrie nahezu in jedem Herstellungsschritt ultrareines Wasser erfordern, waren besonders hohe Qualitätsstandards notwendig, um negative Auswirkungen auf interne Komponenten zu vermeiden.
Um höchste Reinheit bezüglich sämtlicher Verunreinigungen wie organischer und anorganischer Verbindungen sicherzustellen, musste der Kunde den Gehalt an gesamtem organischem Kohlenstoff (TOC) im verwendeten Wasser deutlich reduzieren. Dies ermöglichte die Etablierung eines vollständig keimfreien Ultrareinwasser-Kreislaufs (UPW).
DIE LÖSUNG
TOC-REDUKTIONS-EXZELLENZ
In Zusammenarbeit mit Aquaphor Israel LTD wurden zwei ULTRAAQUA UV-Systeme in der Anlage installiert. Die Systeme sind in der Schleifenleitung aktiv, wobei eines am Ausgang der Pumpen und das andere an der Rücklaufleitung zum Speichertank installiert ist.
Ein MR1-75SS UV-System ist an der Zulaufleitung nach den Pumpen installiert, und ein MR1-220SS TOC mit UV-Sensor ist an der Rücklaufleitung kurz vor dem Speicher installiert. Die TOC-Einheit verwendet Vakuum-UV-Lampen, die mit 185 nm arbeiten.
Die Schleife besteht aus PP-Rohren, die 18 Megaohm Wasser, das durch UF RODP EDI aufbereitet wurde, in einen PP-Speicher zirkulieren lassen und durch einen MB-Polierer führen, mit einer kontrollierten Gesamt-Durchflussrate von 5 m³/h.
